액중, 액조의 입자
제조용의 각종 액체류에 포함된 입자의 시험을 위한 장치들 입니다. SMF5 시리즈는 액체들을 지정된 박막 필터로 여과하여 박막필터에 포집된 입자를 계수합니다.
SPro, S3, SA, SMD. 시리즈들 에서는 액체에 글라스를 넣었다가 꺼내서 건조후 글라스 표면 입자를 검출하는 방식 입니다.
SA 시리즈는 글라스, 실리콘웨이퍼, 금속판들을 사용할 수 있습니다.
필요한 조건과 예산에 맞는 적합한 제품 선택을 위해
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Products List
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SA 시리즈 - 소형에서 부터 대형시료 (최대 300 x 300 mm 크기 시료까지 )
재료,Glass,Films(OCA, POL. PF. Trays,) , 공정 모니터링 , 제조장치 부품 및 유니트 청정도 평가 , 금속입자 검출 평가 , 금속, 비금속 입자 분류 계수 , 입자/청정도시험(Equipment,Tray, Carrier, Magazine ) , 입자/청정도 시험 , FAB 공정용 장치/부품의 청정도 , 트레이, 캐리어, 운반도구 , Silicon Wafers (Bare, Coated) , Glass, Glass Wafers , 필름,박판, 박막 표면의 입자 계수 , 금속표면 , PCB 표면 입자, 트레이 입자 , 낙하입자 관리 , 표면입자관리 , 청정용품, 방진의류 청정도 , 액중, 액조의 입자 , Inks, Photoresists, Waters , 공정중 입자 모니터링