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제조장치 및 시설 크리닝, 입자제거

Symm 10

Symm 10

공정중 입자 모니터링

S300 시리즈

OLEDoS 제조를 위한 표면/유리 입자 카운터

표면입자계수기 교정

표면입자계수기 교정 표준

표면입자계수기 교정용 표준시료

크리닝(Equipment,Tray, Carrier, Magazine)

Symm 9-AS

Surface particle removal system

공정중 입자 모니터링

SMD 시리즈 (휴대형)

SMD 시리즈 - 휴대형 표면입자 계수기

공정중 입자 모니터링

SMF5멤브레인필터 전용

SMF5 시리즈 - 멤브레인 필터 표면 입자 계수기 (액체, 기체 중 입자 채취 후 계수)

공정중 입자 모니터링

SA 시리즈 - 고성능, 자동스캔방식

SA 시리즈 - 소형에서 부터 대형시료 (최대 300 x 300 mm 크기 시료까지 )

공정중 입자 모니터링

SPro 자동스캔

SPro 시리즈 표면입자계수기 중형 크기 시료용 ( 최대 100x100mm)

반도체 패키징, 시험 공정

S3 시리즈

S3 시리즈 표면입자계수기 정밀 매뉴얼 XY 스테이지를 채용하여 보다 큰 시료에 대응

장치용파트류 청정도/입자 시험

ParticlePRO7 부품 청정도 검사, 크리닝 장치

입자 계수 시스템 - 반도체 장비의 Focus ring 및 표면 부품