- SMD 시리즈 (휴대형)
- SMD 시리즈 - 휴대형 표면입자 계수기
SMD 시리즈를 선택하실 이유 4가지
JEDEX 보유 특허에 기반한 장치로서 뛰어난 검출력을 실현하였습니다.
NIST 표준입자에 의한 검증 및 교정으로 국제기준에 맞는 검출력 보증
ISO-14644 Part9 Surface Particle 관리기준 및 IS)-16232 & VDA19 규격 기반 계수 제공
(구부러진 Fiber 의 실제 길이 검증 알고리즘 적용으로 실제의 Fiber(보푸라기)길이 판별
- 제조장치에 직접 설치하여 실시간 모니터링
탐지 한도, 계수 영역
Model Name | SMD1100 | SMD150 | SMD125 | SMD105 |
Detection Limit | 100 um | 50 um | 25 um | 5 um |
사용환경, 선호도에 따른 배치 변경 예시
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계수 작업 장면 (Sticky Mat, Floor Mat) | SMD105 Tablet PC 적용 | SMD150-2022 Sensor |
SMD150 (휴대용) Particle Counter를 이용한 입자계수
반도체 P & T 공정: >50um, 회당계수면적: 70 mm x 60mm(최소)
투명,반투명,불투명, 반사거울, 유리 및 필름 류 , PCB(Patterned, Blank) Membrane Filter (Black, White), Glass Wafer, Sticky Mat 등 에 이르는 광범위한 시료의 입자계수.
상기 시료를 이용하여 Tray, Bag, 장비표면, 액체, 기체, 등의 다양한 시료의 입자를 채취하고 계수 할 수 있습니다.
SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components
ASTM E1216-21 – Standard Practice for Sampling for Particulate Contamination by Tape Lift
ISO 14644-17:2021 - Particle deposition rate applications
ISO 14644-9:2022 - Assessment of surface cleanliness for particle concentration
IEST STD-CC1246E - Product Cleanliness Levels - Applications, Requirements, and Determination
IEST-RP-CC005: Gloves and Finger Cots Used in Cleanrooms and Other Controlled Environments
상기 시료를 이용하여 Tray, Bag, 장비표면, 액체, 기체, 등의 다양한 시료의 입자를 채취하고 계수 할 수 있습니다.
SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components
ASTM E1216-21 – Standard Practice for Sampling for Particulate Contamination by Tape Lift
ISO 14644-17:2021 - Particle deposition rate applications
ISO 14644-9:2022 - Assessment of surface cleanliness for particle concentration
IEST STD-CC1246E - Product Cleanliness Levels - Applications, Requirements, and Determination
IEST-RP-CC005: Gloves and Finger Cots Used in Cleanrooms and Other Controlled Environments
