- S3 시리즈
- S3 시리즈 표면입자계수기 정밀 매뉴얼 XY 스테이지를 채용하여 보다 큰 시료에 대응
S3 시리즈는 글라스(Glass) 투명 또는 반투명 필름 류(OCA필름, 편광필름 등)의 표면 및 내층 , Mirror substrates 의 표면에 존재하는 이물 및 Particle을 검출하고 계수하는 장치입니다. 이 장치는 ㈜제덱스가 개발한 특허 등록된 신개념 검출 기술들을 적용하여 입자의 검출 성능이 뛰어나며 검출 속도가 매우 빠릅니다.
S3 시리즈는 공정 중 Particle 검출 및 관리 / 수입검사 / 출하검사 / 신제품 개발 등 다양한 업무에 적용될 수 있습니다.
제어는 컴퓨터로 제어되며(단 스테이지는 수동) 다양한 시료를 평가하고 사용자가 요구하는 다양한 요구에 대응할 수 있도록 시험은 시험의 Step 별 조건을 지정할 수 있는 레시피를 작성하여 사용할 수 있으며 이에 따라 시험이 가능한 시료는 Sticky Films, OCA Films, Polarizing Films, Optical Films, Glasses (Circle wafers, plates), Membrane filters 등이며 시료의 형태 및 크기에 따라 추가 또는 축소될 수 있습니다.
Detection Range(㎛) : 5 ~ 10000
Dimension (mm) ; 300(w) x 720(d) x 550(h)
- Stage Options
S305 : 100 x 100 mm samples
S305-M150 : 150 x 150 mm samples
S305-M200 : 200 x 200 mm samples
S305-M300 : 300 x 300 mm samples