SA3001-M150 이하 SA3001은 글라스(Glass) 투명 또는 반투명 필름 류(OCA필름, 편광필름 등)의 표면 및 내층 와, 실리콘 웨이퍼, Mirror substrates의 표면에 존재하는 이물 및 Particle을 검출하고 계수하는 장치입니다. 

이 장치는 ㈜제덱스가 개발한 특허 등록된 신개념 검출 기술들을 적용하여 입자의 검출성능이 뛰어나며 검출속도가 매우 빠릅니다.

SA3001은 다음과 같은 업무에 이용할 수 있습니다.

- 공정 중 Particle 검출 및 관리 

- 수입검사

- 출하검사

- 신제품 개발

본체는 컴퓨터로 제어되며 다양한 시료를 평가하고 사용자가 요구하는 다양한 요구에 대응할 수 있도록 시험은 시험의 Step별 조건을 지정할 수 있는 레시피를 작성하여 사용할 수 있습니다. 

시험이 가능한 시료는 같으며 시료의 형태 및 크기에 따라 추가 또는 축소될 수 있습니다.

Sticky Films, OCA Films, Polarizing Films, Optical Films, Glasses (Circle wafers, plates), Silicon Wafers, Membrane filters

- 모델명 / 검출 한계

  SA05 : 0.5um

  SA3001 : 1um

  SA305 : 5um