Semiconductor - 샤워 헤드, ESC
M7000 / M1000R25 (new)
반도체, 디스플레이 장치용 부품의 청정도를 시험 하는 장치, 파츠 표면, 홀 표면 부품, 홀내 입자 검사
2026
EChuckPro
2026
T9
T 시리즈 텀블링 파티클 시험 시스템은 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업용으로 2009년 처음 개발되어, 산업의 발전에 맞추어 지속적으로 개량, 개선되어 왔습니다. 2026년 개발된 T9은 클린 에어 챔버 내 텀블링 드럼에 시료를 투입하여 시료에서 발생하는 파티클을 측정하고, 결과를 자동 계산하여 리포트 발행까지 한 번에 수행합니다.
ESC; 정전척
LPC-3000
JEDEX LPC-3000은 반도체 공정부품 표면의 잔류 입자를 순수(DI Water) 중으로 추출하고, Liquid Particle Counting(LPC) 방식으로 계수하는 액상 파티클 검사 시스템입니다. 오버헤드 갠트리 반송부가 시료의 투입 · 조 간 이송 · 상부 언로딩을 자동으로 처리하며, 시료 투입 전 백그라운드를 먼저 계수하고 시험값에서 차감하여 부품에서 유래한 순수 입자수만을 산출합니다. Auto Fill부터 Report 발행까지 전 시퀀스가 자동화되어 작업자 편차 없는 재현성 있는 청정도 평가를 제공합니다.
표면입자계수기-S시리즈
S300 시리즈
OLEDoS 디스플레이 생산을 위한 유리, 디스플레이 플레이트에 증착된 액정, 유리 기판의 조립 상태의 파티클을 검출하고 카운팅하는 장비로, 양산에 필요한 완벽한 제품 검사 장치입니다.
SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates t..
SA 시리즈 - 고성능, 자동스캔방식
실리콘 (Silicon), GaAs, GaN Wafer , Metal , 글라스(Glass) ,투명 또는 반투명 필름 류(OCA필름, 편광필름 등), PCB, Patterned PCB 의 표면 및 내층에 존재하는 이물 및 Particle을 검출하고 계수하는 장치입니다.
SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates t..
SPro 자동스캔
SPro3시리즈는 공정 중 Particle 검출 및 관리 / 수입검사 / 출하검사 / 신제품 개발 등 다양한 업무에서 탁월한 성능을 발휘 합니다. 글라스(Glass) 투명 또는 반투명 필름 류(OCA필름, 편광필름 등)의 표면 및 내층에 존재하는 이물 및 Particle들을 검출하고 계수하는 장치입니다.
