안녕하십니까 제덱스 오염제어 솔루션 팀 입니다.
첨부와 SEMI E195 챔버 파티클 검사 솔루션 보도자료 올립니다
많은 관심 부탁 드리겠습니다.
감사합니다.
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보 도 자 료 JDX-PR-E195-2026 2026.MM.DD
JEDEX(주) Contamination Control Lab press@jedex.com +82-70-8233-7766
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JEDEX, SEMI E195 적합 솔루션 라인업 확장
─ 표면 입자 평가 통합 패키지 「S505 + DD Films」 공식 발표 ─
[경기 용인, 2026.MM.DD] 반도체 오염제어 전문 기업 JEDEX(주)(www.jedex.com)는
SEMI E195 적합 표면 입자 평가 솔루션 라인업을 확장하여, 반도체 제조장치사(OEM/IDM)·
부품 세정사·부품사·PM 서비스 사업자 등 가치사슬 4대 고객군을 통합 대응하는 패키지
「S505 + DD Films」를 공식 발표했다.
이번 패키지는 SEMI E195(Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess
Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components) 가 규정하는 ARS
(Adhesive Replacement Substrate) 방식을 단일 플랫폼에서 구현한다. 점착 필름으로
챔버 핵심 부품(CCC) 표면의 입자를 비파괴 전사한 뒤 광학 장비로 정량 계수하며,
SEMI E195 / ISO 14644-9 에 동시 적합한다.
- 상세사양 옵션에 따라 다릅니다. 별도 문의 부탁 드립니다.
▶ DD 시리즈 필름 (KR·CN·EU·JP·US·VN 6개국 특허)
· 표준 권장: DD FAB-200HR (FAB 환경 등급 고점착·고청정)
· 좁은 부위: DD-500HR (슬롯·홈·엣지 등 미세 부위 전용)
· 분석 SW: MicroLabo Ver. 9.0.1 — Excel 즉시 출력
· 제조장치사 : 입고 검수 표준화 / OEM–Tier 1 계약상 청정도 스펙 정량 명시
· 세정사 : 세정 전후 정량 비교 / SEMI E195 보고서 출하 패키지 동봉
· 부품사 : 1~2 초 라인사이드 QC / ISO 14644-9 기반 CoA 보강
· PM 사업자 : 현장·PM 트럭 운영 / PM 직후 필름 1장으로 즉시 진단
JEDEX는 본 라인업을 시작으로 공기 중 입자 모니터링·Critical Component 검사·
세정 솔루션까지 아우르는 청정도 종합 관리 포트폴리오로 단계적 확장을 이어갈
■ JEDEX 소개 JEDEX(주)는 반도체 장비 부품의 표면·공기 입자 검출 솔루션을
전문으로 하는 오염제어 기업으로, S505, DD Films, ParticlePRO, M 시리즈, MONACO
등을 개발·공급한다. 본사 : 경기도 용인시 기흥구 흥덕1로 13 흥덕IT밸리 1612호.
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문의: JEDEX(주) 오염제어연구소 press@jedex.com / +82-70-8233-7766
자료 : 제품 고해상도 사진·측정 데이터 샘플 제공 가능 / 데모 취재 협의 가능
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