반도체, 디스플레이 장치용 부품의 청정도를 시험 하는 장치, 파츠 표면, 홀 표면 부품, 홀내 입자 검사
Surface Particle Counters
S5 Series
채취성능이 뛰어나고 정교한 제어가 가능한 자사 개발 입자채취용 필름( DD 시리즈 등) 을 이용하여 입자를 채취한 필름 표면에 채취된 입자를 계수하는 장치 입니다.
표면입자계수기-S시리즈
S300 시리즈
OLEDoS 디스플레이 생산을 위한 유리, 디스플레이 플레이트에 증착된 액정, 유리 기판의 조립 상태의 파티클을 검출하고 카운팅하는 장비로, 양산에 필요한 완벽한 제품 검사 장치입니다.
SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates t..
SA 시리즈 - 고성능, 자동스캔방식
실리콘 (Silicon), GaAs, GaN Wafer , Metal , 글라스(Glass) ,투명 또는 반투명 필름 류(OCA필름, 편광필름 등)의 표면 및 내층에 존재하는 이물 및 Particle을 검출하고 계수하는 장치입니다.
SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates t..
SPro 자동스캔
SPro3시리즈는 공정 중 Particle 검출 및 관리 / 수입검사 / 출하검사 / 신제품 개발 등 다양한 업무에서 탁월한 성능을 발휘 합니다. 글라스(Glass) 투명 또는 반투명 필름 류(OCA필름, 편광필름 등)의 표면 및 내층에 존재하는 이물 및 Particle들을 검출하고 계수하는 장치입니다.