M7000은 다양한 반도체 FAB 장치용 부품의 청정도를 평가하기 위하여 JEDEX가 그동안 개발, 공급해온 장치들의 장점을 넘어서 가장 정교하면 보다 빠르고 보다 편리하게 검사 가능할 수 있게 JEDEX의 기술력을 집약한 장치입니다.
2025년 출시 신제품.

A. 검사가능한 시료들

1. Shower Heads, Electrodes 등의 Hole 내면 Particle
2. ESC (Electro Static Chuck), Focus ring 등 표면의 Particle
3. Sputtering Targets
4. FOUP
5. Ceramic Parts
6. Metal Parts
7. 포장재 내면 등 청정용품류 (옵션)

B. 장점
1. 종래 방식의 표면입자계수기, 챔버 방식 대비 월등한 검출력 과 분별력
2. 비접촉 방식 및 검사중 입자확산 방지 기능으로 시료의 검사 과정에서의 역오염 방지
3. 다양한 시료 별 레시피의 설정으로 정교하고 빠른 검사 가능
4. 시료만 넣어 주면 나머지 검사는 알아서 처리하고 보고하는 풀 자동화 시스템
5. Particle Mapping: 각 부품의 위치별, 부위별 입자의 농도를 구분하여 표시 계수
6. 검사, 비 검사 영역을 세부적으로 지정 가능 하여 신속한 검사 와 검사 가스의 낭비를 방지
7. 다양한 보고서의 제공

- 보다 자세한 사양이 필요하시면 문의하여 주십시오