- T802H Helmke Drum
- Particle Testing System - Helmke Drum - IES-RP-CC 3.3, Self Cleaning
- Features
-
전자동화 /
- 거의 실현된 0 수준의 배경 입자
- 일회용 마스크나 와이퍼와 같은 작은 샘플 하나를 테스트할 수 있기 때문에
판별 능력이 있고 테스트 비용을 크게 절약할 수 있습니다.
- 입자시료용 출입구 3개 설치..
- 컴퓨터 제어 하에서 청소 모드로 빠른 챔버 청소
- 특허출원된 고유한 구조 (2010년 8월 특허등록 완료)
- 서비스상태 : 100급 이상 고청정 클린룸
- 원격 진단 기능 : 빠른 A/S 사용 가능, 고장 시간 최소화(Beta)
- 이전 시리즈에 비해 낮아진 배경 레벨
- 이전 시리즈에서 테스트 가능한 크기보다 큰 크기의 샘플의 테스트 가능성
- Applications
-
- 클린룸을 위한 청소제품 및 자재에 대한 전반적인 품질관리
- 클린룸용 소재, 소모품, 공정소모품에 대한 입자오염도 평가/입수검사/품질인증/제품개발/공정관리
