크리닝/입자제거 장치(마이크로,스마트)
크리닝/입자제거 장치(마이크로,스마트)
Symm 시리즈 는 새로운 기존의 크리닝 방식의 문제를 제거한 새로운 개념의 크리닝 방식 입니다. (Jedex의특허 )
오래된 개념의 개스젯, 에어건, 진공청소기의 문제점 들
1. 종래의 Gas Jet 방식 -> 입자를 주변에 오염시킵니다.
그동안 사용되어져 오고 있는 에어젯, 에어건이 크린룸에서 사용되면 주변에 입자를 확산 시켜 새로운 오염을 유발 합니다.
2.종래의 진공청소기-->작은입자를 제거하지 못합니다.;
기존의 진공 청소기는 크리닝시 주변에 입자를 확산시키지 않지만 작은 입자를 제거하지 못합니다.
기존의 진공 청소기는 크리닝시 주변에 입자를 확산시키지 않지만 작은 입자를 제거하지 못합니다.
Symm 시리즈는 이러한 문제를 개선하기 위해 제덱스의
오염제어연구소의 수년간의 연구결과로 개발되었습니다. (특허 )
1. 크리닝 중 입자 확산 최소화 하는 가스젯
2. 크리닝 품질 확인 과 동시에 크리닝
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