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Parts cleanliness and particle testing system for Shower Heads, Electrodes, Electrostatic Chucks (ESC) , Robot Arms, Focus rings, Cleanroom Wipers, FOUPs ..,

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Nanox 1000 - Wet 방식 부품 청정도 검사

Nanox 1000 - Wet 방식 부품 청정도 검사 장치, 대부분의 파트류 시험