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Semiconductor Equipment
Monaco 1000 [0.1 um 감도]
ShowerHead/ Cathod 의 Particle 검사 및 장비 장착전 전세정 장치 0.1 um 이상 Particle

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Monaco 2000 [10 nm 감도]
ShowerHead/ Cathod 의 Particle 검사 및 장비 장착전 전세정 장치 0.1 um 이상 Particle, ESC Hole 및 표면입자검사 및 크리닝

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Visual Particle Counters
표면 입자 계수기
전용 필름을 이용한
입자 계수기
Tray, Bag, 부품,지그 등의
입자관리에 유용

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다용도 입자 계수기
Membrane Filter를
이용한 액체, 기체중
입자의 계수
(VDA-19, ISO-16232 규격 대응)

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외장 센서형 입자계수기
 
다양한 표면에
존재하는
입자를 직접 계수

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외장 센서형 입자계수기
 
필름류, 유리의 표면에
존재하는
입자를 직접 계수

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Particle Testers for Cleanroom Materials / Consumables
T 시리즈
청정용품, 크린룸용 자재 류 전반적의 품질관리
각종 크린룸용 자재, 소모품 및 공정 소모품의 입자오염도 평가
수입검사 / 품질인증 /제품개발/공정관리 /와이퍼, 각종 크린룸용 청정용품 및 부자재, 포장재의 Particle 검출 및 시험 평가장치

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Smart Cleaning Units
Smart Cleaning Units
Particle Pro : Cleaning 과 Particle Countiing을 동시에 할 수 있습니다.
SymmGun : 간편하게 Cleaning이 가능합니다.
SCU : Smart Cleaning Units 장치 또는 공정의 스마트팩토리 구현을 위한 Cleaning Units을
제공합니다.

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