SA series are devices that detects and counts foreign substances and particles present on the surface and inner layers of glass transparent or translucent films (OCA films, polarized films, etc.), silicon, GaAs, GaN wafers, and mirror substrates. 
This device applies patent-registered new concept detection technologies developed by Jedex Inc. to have excellent particle detection performance and very fast detection speed.


SA series are available for the following tasks.
- Particle detection and management during the process
- IQC
- OQC
- New product development

The body is controlled by newly developed software, ParticlePro, and to evaluate various samples and to meet the various demands of the user, 
the test can be used by creating recipes that specify the step-by-step conditions of the test. 
The samples that can be tested are the same and may be added or reduced depending on the shape and size of the samples.
Sticky Films, OCA Films, Polarizing Films, Optical Films, Glasses (Circle wafers, plates), Silicon Wafers, Metal Surfaces(Mirror)

- Model / detection limit

  SA303; 0.3 um. Lab Version
  SA05: 0.5 um
  SA3001 : 1um
  SA305 : 5um

  SA3005LAB: 0.5um Lab, Version 
- Stage Options
  M150: 150 x 150 mm samples Max.. Basic Model   - Four 50mm circle samples per load.
  M200:  200 x 200 mm samples Max
  M300:  300 x 300 mm samples Max
Product Code
  Ex) SA3001-M150